浙大科创与波长光电共建联合实验室

　　本报讯（首席记者 周珂 通讯员 孔晓睿）无人超净室里，气浮工件台承载着被测掩模版，在快速、无声且几乎无抖动地高速扫描运转；监控屏幕上的彩色“等高线图”高速刷新——这正是动态干涉仪在工作。它描绘的并非山川河谷，而是镜面上纳米尺度的“峰”与“谷”。

　　在另一侧，动态干涉显微系统正以更高的空间分辨率，对微纳光学元件的表面形貌进行原子级测量与重绘。

　　“我们的目标，是在2025年底前，自主研发出12寸检测面积的大视野动态干涉仪原型机。”浙大杭州国际科创中心研究员卞殷旭指着屏幕上的数据曲线解释，“它是实现光刻镜头超光滑加工的‘眼睛’，没有它，后续的所有精密制造都如同盲人摸象。”

　　这场与时间赛跑的技术攻坚，在今年春季由浙大杭州国际科创中心（简称科创中心）极端光学技术与仪器研究院与南京波长光电科技股份有限公司成立的联合实验室中开展。动态干涉仪和动态干涉显微系统的研发，正是联合实验室物镜检测技术方向的首要里程碑。它能够为大尺寸光学元件、掩模版、晶圆等提供全视野、高精度的实时检测，这是构建“设计—加工—检验”全套产业链闭环的关键一环。

　　“这不仅是平台与企业的合作，更是应用基础研究与产业需求的一次深度交融。”极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方表示。实验室在超快激光、精密光学测量、极端环境光学系统等方向，已经取得了一系列国际领先的突破性成果。

　　波长光电作为国内光学行业的标杆企业，在高端光学元件设计、制造及产业化方面具有深厚积累。这种优势叠加在产品的研发与交付上体现得淋漓尽致：一方负责“大脑”与“神经”，另一方负责“骨骼”与“肌体”。

　　这一技术突破，迅速转化为显著的市场表现。财报显示，2025年上半年，波长光电半导体及泛半导体业务实现收入3477万元，同比增长99.44%。波长光电总经理吴玉堂表示，“产学研的深度融合，加速了从技术到产品的转化周期，有望打破国外在高端光学器件领域的技术垄断。双方对未来合作都充满信心。”

　　技术转化能力的增强，在联合实验室的研发路线图中清晰可见。今年9月，联合实验室已启动光场匀化、光束整形等微纳光学产品的研发，并计划于明年正式推出3—5款高附加值产品。这些产品将面向半导体光刻、检测及先进制造等领域，进一步巩固波长光电在高端光学模块市场的竞争力。

　　技术跃迁带来了人才的加速成长，尤其是对青年科研人员，联合实验室为他们提供了一个直面产业真问题的独特平台。卞殷旭谈到，“当企业提出一个模糊需求时，他们已能精准地将需求转化为技术语言和解决方案。这种‘定义问题’的能力，让人才成长得更快，更适应并引领技术赛道的切换。”

　　“我们共建‘基础研究—技术开发—产业应用’的全链条创新生态，”匡翠方总结，“合作不仅解决了当前半导体装备的检测与制造瓶颈、填补国内市场缺失，也为下一代光学技术的迭代埋下了种子。”