2月9日，绍兴市上虞区的晶盛机电工作人员在生产碳化硅的外延设备。近日，晶盛机电发布了6英寸双片式碳化硅外延设备，标志着其在第三代半导体领域取得重大突破。 本报记者 吕之遥 共享联盟·上虞 金伟 梁松 摄
