□ 南京日报/紫金山新闻记者 张希
3月25日，全球规模最大的半导体专业展览会SEMICON China在上海拉开帷幕。作为本次展会的一大亮点，来自江宁开发区的江苏道达智能科技有限公司（以下简称“道达科技”）将官宣第二代半导体磁驱天车——“腾龙”。何为天车？它们是半导体晶圆厂身价百万的“快递小哥”，在半导体晶圆车间里，“南京天车”“腾龙”搭载着一盒盒价值数十万元到数百万元的晶圆产品快速穿梭。江苏道达智能科技有限公司董事长孙俊杰介绍，“腾龙”是首台国产化磁驱动天车，打破国际垄断，预计于今年6月交付使用。
晶圆厂里有一批身价百万的“快递小哥”
在半导体晶圆厂的洁净车间里，厚度仅100多微米的晶圆源源不断下线，第一时间被小心分装进透明盒子。与此同时，一辆辆“天车”顺着空中轨道疾驰而来，伸出机械抓手，精准将盒子放进车内，平稳护送又薄又脆的晶圆奔向下一个站点。
孙俊杰说，一家半导体超级晶圆厂会配置2000多台天车，数量上就可以窥见晶圆厂的“交通”繁忙程度。2000多台天车，日搬运晶圆数量超过1300万片。依靠复杂又精密的指挥“大脑”，如此多的天车协同配合，不仅能听得懂“红绿灯”指令，而且能通过AI算出自己的运行速度。
在过去很多年，天车系统99%被日本两家公司垄断，核心关键部件基本外采。转机发生在2017年。这一年，道达科技成立，专注于工厂自动化，并将视线投向“天车”这个细分赛道。天车，是目前国产半导体领域仅有的两个还没有上市企业的装备，另一个是光刻机。
所谓“蓝海”，就是做别人没做过的行业、走少数人走的路，在国内科技创新的“无人区”攻坚，是挑战也是机遇。闭门“修炼内功”，一晃数年。公司研发的第一代半导体天车——“麒麟”2023年问世，实现国产化“破冰”。“麒麟”天车有车轮，它们以伺服电机为驱动，靠车轮和轨道的摩擦进行运动，直行速度在5.3米/秒，刹停的振动控制在0.35g以下。去年，该产品销售了超百台。
“腾龙”会“腾空”，驱动不靠电机靠磁力
“我们此次发布的‘腾龙’，在技术上进一步升级。”孙俊杰透露，“腾龙”这个名字，是由公司员工起名“海选”而来。一个“腾”字，道出新一代“南京天车”的特征——小车驱动力是基于非接触式的磁场。
道达科技自主研发的无接触驱动技术，通过轨道定子和OHT车辆走形单元的动子的磁场关系，产生一个磁场推力。这种全新的驱动模式不需要减速机、不需要通过轮子驱动，其技术路线的优势是：无摩擦、高洁净，更加符合晶圆车间的要求，也大大延长天车的使用寿命，如驱动模块寿命从3年提高到10年。
“腾龙”的振动也更小，刹停的振动控制从上一代的0.35g降低到0.25g以下。这对于保护晶圆的意义非凡，一盒晶圆产品价值数十万元到数百万元，一次不小心的磕碰，或将付出昂贵的代价。
记者在道达科技看到，这里建有国内最大的天车全场景测试轨道，一辆辆最新款的“腾龙”天车，在“最强大脑”AI算力的微秒级指挥下，时而冲刺、时而刹车，以L5级别的无人驾驶汽车的“智慧程度”奔跑测试，直行速度从上一代“麒麟”的5.3米/秒提高到6米/秒。目前国内外晶圆厂采用7×24小时不间断生产模式，单日搬运频次约40万次甚至更高。
走向世界舞台，“飞天”计划箭在弦上
回顾道达科技的成长历程，公司2017年在昆山成立，2022年搬迁到江宁开发区建总部。为何选择南京江宁？源于公司的一次人才招聘。
“技术攻坚，主要靠人才。在一次大规模招聘活动中，我们发现60%的人才来自南京高校，因此决定搬迁到江宁开发区。实践证明，这个决策是正确的。我们来了之后，和江宁开发区内的东大、南航、河海等一批理工科院校陆续建立了联合攻关机制，校企联手，完成了产品升级，向价值链更高处攀登，‘麒麟’‘腾龙’相继在南京原研诞生。2025年，道达科技荣获国家级专精特新‘小巨人’企业称号。”孙俊杰说。
从“麒麟”到“腾龙”，飞驰的“南京天车”承载着中国半导体突围之路的精彩片段。记者在道达科技的展示墙上看到，下一站目标清晰又坚定——2026年，将发布“飞天”系列、进行半导体领域海外布局……从填补国内空白到走向世界，“南京天车”的创新故事将继续书写传奇。