河海大学仿生机器人团队助力半导体产业升级

　　在半导体设备制造领域，一项被国外长期垄断的关键技术迎来突破。记者近日从河海大学获悉，河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企业紧密合作，成功研发出“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现重要应用，为我国半导体设备整机装备制造解决了关键技术难题。

　　长期以来，真空环境超洁净晶圆传送机械臂作为半导体晶圆生产线的“神经中枢”，广泛应用于光刻机、刻蚀机等关键设备，其性能直接决定芯片制造的精度与效率。然而，该类设备长期被日本乐兹（Rorze）、美国布鲁克斯（Brooks）等企业垄断，且被列入禁运产品目录，严重影响产业链安全。

　　历经多轮技术迭代，该成果已实现多项关键突破：机械系统采用集成化驱动与磁流体密封技术，解决了真空环境下的洁净度控制难题；基于国产操作系统构建的实时控制系统，实现纳秒级响应精度；各项指标均达到国际先进水平。

　　扬子晚报/紫牛新闻记者 王赟