证券简称 涨跌幅（%）科创半导体设备ETF鹏华 6.02科创半导体ETF华夏 5.91科创半导体设备ETF华泰柏瑞 5.71半导体设备ETF万家 5.32半导体设备ETF广发 5.30半导体设备ETF国泰 5.27半导体设备ETF易方达 5.22半导体设备ETF华夏 5.22科创新材料ETF南方 4.06科创新材料ETF博时 3.98