沈阳加速建设半导体装备国产化标杆项目

　　近日，我市半导体产业发展迎来新进展。作为全市重点工程、国家半导体装备国产化的标杆项目，沈阳拓荆科技高端半导体设备产业化基地建设已进入主体结构收尾阶段，目前正全力冲刺机电安装的关键节点。项目建成投产后，将为沈阳高端半导体薄膜产品的产能提升提供坚实支撑。

　　进入5月，位于浑南区智能制造产业园的项目现场，一派繁忙景象。

　　基地项目总投资20亿元，总建筑面积15.6万平方米，涵盖研发中心和洁净厂房两大核心区域。据项目施工负责人王枫介绍，预计7月中旬，项目所有结构将全部封顶。今年年底的目标是完成整体封闭，为明年精装修施工奠定基础。明年将全面展开室内装修及园林景观施工，预计2027年年底基本建成。

　　薄膜沉积设备是芯片制造的核心关键装备。该项目建成投产后，将聚焦全球领先的薄膜沉积设备的研发与产业化，进一步补齐国产半导体装备的产能短板，提升我国高端芯片制造设备的自主供给能力，助力半导体产业链供应链实现自主可控。项目运营后，预计将为沈阳吸引近3000名高端技术人才。

　　沈阳拓荆科技股份有限公司副总裁孙丽杰表示，项目建成后，拓荆在沈阳地区的产能将提升至目前的4倍，以支撑公司高端薄膜产品未来的产业化需求，进一步推动公司业务规模持续增长，为国内半导体产业发展及沈阳地区的产业升级作出积极贡献。

　　今年以来，全市工业项目建设持续发力。据市工业和信息化局介绍，2025年全市推进重点工业项目1283个，完成投资621亿元，其中工业技改投资增长12.2%，高技术制造业投资占比达48.8%。（下转4版）　　（上接1版，沈阳加速建设半导体装备国产化标杆项目）2026年，全市计划推进1350个重点工业项目，全年力争工业投资增长5%，力争330个以上项目竣工投产，为工业经济回升向好提供有力支撑。

　　下一步，沈阳市将围绕“3+4+3”现代化产业体系，聚焦高端装备、汽车、生物医药、新能源等重点领域，逐链抓好项目培育与落地。同时，全面实施“智改数转”行动，推动规上工业企业分级改造，力争全年新增国家卓越级智能工厂5户、省级先进级智能工厂40户，加快形成新质生产力，全力开创沈阳新型工业化新局面。

　　沈阳日报、沈报全媒体记者 黄超