沈阳芯源微：一心向党 在中国“芯”征程上勇建新功

　　“沈阳芯源微正是沐浴着改革开放春风成长起来的，没有党的领导，就没有企业的今天。”沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称沈阳芯源微）有关负责人介绍，2005年，在上级党组织的支持下，沈阳芯源微成立了党支部，从党支部到党委，企业党员队伍不断壮大，党组织战斗力不断增强，以党建引领企业发展成了沈阳芯源微一次又一次取得关键性突破发展的成功之匙。

　　公司党委结合经营发展实际，确定了以党员骨干为核心，以服务人民群众为宗旨的发展理念，建立党建工作与企业运营工作同步部署、党建制度和业务制度同步完善、党建知识和业务知识同步学习、党建工作和业务工作同步考核的“四同步”工作机制和把党员培养成技术骨干、把技术骨干培养成党员的“双培养”机制。在党建工作的引领下，2022年公司产值17.17亿元，实现了党建工作与企业发展的互促共赢。

　　向科技创新成果宣战，啃下国产替代“硬骨头”

　　公司党委在沈阳IC制造行业率先召开誓师大会，将前道涂胶显影设备攻关项目设立为共产党员工程，将党支部建立在技术攻关一线，不等不靠、自力更生，（下转4版）　　（上接1版，沈阳芯源微：一心向党 在中国“芯”征程上勇建新功）突破层层技术壁垒，攻克技术难关，实现了前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术的突破，光刻工艺胶膜均匀涂敷技术等多项技术均已达到国际先进水平，推动芯片制造领域国产化设备市场占有率提升10个百分点，在小批量替代上迈出了坚实的步伐，已具备快速实现国产全部替代的技术实力。

　　向技术创新突破宣战，打破行业垄断“周期律”

　　沈阳芯源微聚焦“卡脖子”技术攻关，立志啃下集成电路前道设备成套技术国产化这块“硬骨头”，组建了由党委书记带头，40余名党员技术骨干参与的“前道高产能涂胶显影设备”党员技术骨干团队，启动前道高端涂胶显影机、物理清洗机国产化攻关等“揭榜挂帅”共产党员先锋工程5项。历时5年，先后攻克高产能小型化设备架构设计开发、光刻机联机作业的智能化控制和软件平台开发、在线工艺缺陷单元开发、多分区高精度陶瓷热板开发等4项“卡脖子”技术。

　　该企业负责人介绍，目前，中国人自主生产的前道涂胶显影机已实现与光刻机联机运行，成功打破了国际上行业垄断的“周期律”，沈阳芯源微也成为国内唯一的高端涂胶显影设备供应商。

　　向核心产品制造宣战，突破技术攻关“封锁线”

　　国内集成电路产业发展起步较晚，很多核心技术受到国外专利的技术封锁，核心部件只能依赖进口。为了解决上游物料的供应难题，沈阳芯源微坚持党员先行、党员开路，累计征求党员、职工合理化建议51条，一方面采取提前大额采购等超常规举措稳定供应链，另一方面组建5个党员突击队，开展核心部件自研攻关，实现了高速小型化机械手的国产化，其稳定性和重复定位精度均达到国际领先水平，能够完全替代进口。

　　沈阳日报、沈报全媒体主任记者 梁馨月