“洛阳造”高端窑炉护航半导体国产化

本报讯 （洛报融媒记者 郭学锋 通讯员 刘春红）记者日前从中钢洛耐获悉，由该企业承建的苏州珂玛材料科技股份有限公司燃气高温陶瓷梭式窑成功点火，正式进入烘窑阶段。这座“洛阳造”高端窑炉投产后，将为我国半导体先进陶瓷材料的国产化替代提供关键装备支撑。

苏州珂玛是国内半导体设备先进陶瓷材料及零部件的领军企业，其产品广泛应用于晶圆制造刻蚀、薄膜沉积等核心工艺设备。此次新建的梭式窑，旨在扩大高端陶瓷产能，满足半导体产业对陶瓷部件精度与稳定性的高标准需求。

半导体高端陶瓷对烧结温度的全程稳定性要求极高。中钢洛耐为苏州珂玛量身打造了集多点联动温区“测-控-验”一体化热场、助燃风温度补偿有效氧含量、智能操控程序等技术于一体的燃气高温梭式窑，成功攻克大型异型陶瓷件烧结的核心技术难题。

中钢洛耐项目负责人介绍，此次点火成功，进一步增强了苏州珂玛大型异型陶瓷结构件的生产优势，也证明产业链协同创新是突破“卡脖子”技术的关键路径。作为国内耐火材料行业的创新标杆，中钢洛耐依托洛阳“创新生态雨林”，充分发挥国家级科研平台优势，近5年主导或参与制定国际标准5项、国家标准30余项，将“洛阳技术”转化为全球通用规则。

从一窑之火到全链协同，洛阳正着力打造包括先进耐火材料产业链在内的12条重点产业链。作为链上核心，中钢洛耐将持续深耕半导体陶瓷高温窑炉领域，携手龙头企业共同推动我国先进陶瓷材料国产化进程，为增强我国战略性新兴产业供应链安全保障能力贡献“洛阳力量”。