■ 深圳报业集团记者 张洁
高功率激光芯片的研究与制造,在外人看来枯燥又精密的技术活,在汪卫敏眼里,却充满了光。十五年如一日,这位扎根半导体激光芯片一线的技术人,把高精尖的工作,干出了温度与诗意。
初到深圳
与时间赛跑,点亮第一条产线
2010年博士毕业,2013年,汪卫敏来到深圳,加入刚起步的瑞波光电子。他接手的第一个重任,就是搭建3英寸晶圆大功率半导体激光芯片量产技术验证线。
三个月内要完成千级洁净室的设计、建造、验收,还要完成设备安装调试,时间紧、任务重,他和团队一头扎进车间,开启了与时间赛跑的日子。
为了找到最精准的制程参数,他们常常试验到深夜,走出车间时,已是凌晨两点,但这份热爱让他觉得所有付出都甘之如饴。
攻坚克难
啃下硬骨头,让芯片更可靠
随着激光雷达、智能传感等产业快速发展,市场对激光芯片提出了更高要求。2020年,汪卫敏带领团队挑战新型小近场光斑高功率多节结脉冲激光芯片研发。
汪卫敏带着团队沉下心,一遍遍分析故障原因,一次次优化制程设计。终于在不降低芯片性能、不增加生产成本、不增加工序的前提下,通过优化芯片电极设计,攻克了多结激光芯片高电压工作条件下,腔面附近隔离槽内介质膜被击穿难题,让芯片可靠性大幅提升,这项技术还成功获得专利,成为多节激光芯片通用技术。之后,他又带领团队突破可见光芯片失效分析技术,精准定位失效点,为可见光芯片研发扫清障碍。
如今,汪卫敏和团队打磨出的高功率脉冲激光芯片、红光激光芯片等技术,已广泛应用于无人车和无人机的测距传感、舞台灯光、投影显示等领域,成为高科技产品的“光心脏”。
在汪卫敏眼里,这些芯片从不是冰冷的元器件,“就像无人机的灯光秀点亮城市夜空,每一束激光,都在点亮我们的生活。”
劳模档案
汪卫敏
●职务:深圳瑞波光电子有限公司半导体激光芯片制造中心制程经理
●荣誉:广东省劳动模范
●从业时间:15年
●劳模感言:工具在变,技术在变,但不变的是我们对技术的执着追求和对创新的不断探索。