南科大金刚石薄膜入选年度科学十大进展

深圳晚报讯 （深圳报业集团记者 刘夏蓝） 25日，国家自然科学基金委员会在2026中关村论坛年会开幕式上发布了2025年度“中国科学十大进展”。南方科技大学深港微电子学院李携曦副教授联合研究团队的研究成果——“创新方法实现规模化制备柔性超平金刚石薄膜”入选。

金刚石被誉为“终极半导体材料”，在众多领域具有重要应用潜力。然而，传统制备技术长期难以实现大尺寸、超平整金刚石薄膜的规模化生产，成为制约其产业化发展的关键瓶颈。围绕这一难题，由香港大学褚智勤副教授以及林原教授、南方科技大学深港微电子学院李携曦副教授、北京大学东莞光电研究院王琦研究员等组成的联合研究团队，成功研发出一种可实现大尺寸、超光滑、超柔性金刚石薄膜规模化制备的新方法。相关成果发表于《自然》（Nature）期刊。

研究团队创新提出“边缘暴露剥离”方法，以“一步法”实现英寸级超薄、超平整金刚石薄膜的规模化制备，将传统工艺数十小时的制备流程缩短至数秒。所得亚微米厚薄膜兼具亚纳米级粗糙度与360度弯折能力，其超平整表面与现有CMOS工艺高度兼容，并赋予金刚石材料传统块材所不具备的柔韧性。该技术为高品质金刚石薄膜的大规模制备提供了可行路径，有望加速其在电子学、光子学等领域的产业化进程。