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2026-04-08
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光企补上半导体设备“关键一环”

日期:04-10
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版面:第B01版:光明新闻       上一篇    下一篇

钙钛矿原子层沉积设备。

双腔碳化硅外延设备。

企业名片

纳设智能是一家以“致力成为全球先进材料制造设备引领者”为愿景,以“聚焦装备、推动革新、塑造未来”为使命,致力于第三代半导体、钙钛矿、碳纳米材料等先进材料制造设备研发及产业化的设备制造商。

产业化进展

纳设智能的碳化硅外延设备已经全面产业化,6英寸碳化硅外延设备已成功实现量产销售,8英寸单腔碳化硅外延设备已经推向市场并获得复购,另有8英寸全自动双腔碳化硅外延设备正在开发中,该设备将大大提升产能,为规模化量产提供了更优解决方案。

位于光明区留学人员创业园的深圳市纳设智能装备股份有限公司,自主创新的碳化硅外延设备填补国内缺口,核心技术跻身“科创中国”先导技术榜。

光明新闻记者 李军涛 通讯员 李晓梅 摄

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