江苏集萃半导体陶瓷材料研究所是泰州市产研院首家专业研究所，由清华大学潘伟教授团队领衔，主攻陶瓷静电卡盘、陶瓷加热盘、光刻机用陶瓷导轨三大产品，致力为中国半导体装备装上“陶瓷心脏”。累计申报十余项核心专利，多款产品实现进口替代，2026年预计产值1500万元，3至5年产业化目标突破10亿元。

图①：生产人员对烧结过程进行监控记录。

图②：实验人员进行材料性能检测前处理。

图③：精密陶瓷件数控精加工。

方雨婷 摄