芜湖企业牵头制定行业标准 填补国内半导体关键特气领域空白

本报讯（记者 王世宁）日前，由安徽亚格盛电子新材料有限公司牵头、芜湖市标准化研究院等单位联合编制的电子行业标准《电子级乙硅烷》（SJ/T 12052-2025）正式施行。这是国内首个电子级乙硅烷行业标准，填补了该领域行业标准空白。

电子级乙硅烷是先进集成电路制造中不可或缺的核心电子特气，主要用于薄膜沉积、硅外延生长等关键工艺，属于半导体产业链“卡脖子”配套材料。此前国内该品类只有企业标准或内控指标，缺乏统一的行业规范，产品质量比对、市场准入都缺少依据。新标准对产品的技术要求、试验方法、检测规则及包装贮存等作了全流程规定。

安徽亚格盛电子新材料位于安徽自贸试验区芜湖片区，专注半导体前驱体及电子特气研发生产。此次牵头编制行业标准，是芜湖立足新一代信息技术产业赛道、以标准化建设赋能半导体产业链自主可控的一项重要成果。