■ 记者 何 丹
本报讯 近日，浙江六方半导体集成电路精密零部件新材料基地完成基建，CVD炉、精密加工中心等核心设备正进场安装调试。项目规划建设2条功率器件封装测试生产线及1条模块组装线，预计下半年逐步投产，全部达产后产能规模超6亿元，将进一步巩固企业在新能源汽车、光伏逆变器等领域的市场份额。
“我们做的产品，就好比芯片的‘托盘’。”浙江六方半导体科技有限公司创始人何少龙这样形容核心业务。这个“托盘”学名为外延托盘（涂层载盘），在芯片制造中陪伴芯片经历高温、强腐蚀环境，其性能直接决定芯片质量和产线稳定性。过去很长一段时间，这类核心零部件长期依赖进口，是国内半导体产业链上典型的“卡脖子”环节。
为了啃下这块硬骨头，六方科技花了7年多时间。2018年，何少龙走出科研院所，在诸暨创立六方科技。公司聚焦大尺寸高纯碳化硅涂层及碳化钽涂层技术，为半导体关键工艺提供涂层材料。持续攻关后，公司于2025年迎来重大突破——在LED芯片外延用SiC涂层基座领域，实现从“国产替代”到“供应主力”的关键跨越。这背后是一项名为“分层沉积与变温沉积”的自主研发工艺，攻克了传统涂层应力大、寿命短的行业痛点，让产品性能大幅提升。
从初创时的几人团队，到如今拥有近200名员工、20余名博士硕士为核心的研发队伍，六方科技已建成覆盖石墨纯化、精密加工到CVD涂层的完整自主产线，年产超过1.7万套涂层载盘，获评“高新技术企业”“专精特新‘小巨人’企业”。何少龙作为首席科学家，牵头参与国家重点研发计划，聚焦国家半导体产业链自主可控需求，推动前沿技术从实验室走向产业化。
近年来，诸暨市瞄准泛半导体新材料细分赛道，重点孵化科技创新型企业，差异化发展半导体、光电显示、光伏面板及动力电池等高端材料产业，已集聚海特信科、弘德新材料、洪量新材料、英创新材料、幄肯中智新材料、越芯半导体等新兴企业，并建成浣江实验室、中俄（诸暨）国际实验室、西交网络空间安全研究院等高能级创新平台。
“新基地投产将进一步夯实诸暨在半导体上游新材料产业卡位，补齐绍兴集成电路产业链上游耗材短板，助力新能源汽车、储能、光伏逆变器等万亿元级终端产业实现国产化。”诸暨市有关负责人表示，未来将继续培育以企业为主体、高校和科研机构为支撑、产学研用协同的新材料产业体系，不断提升核心竞争力。