编者按：项目是经济发展的“压舱石”。新年伊始，市领导集中调研重点项目，为绍兴“十五五”开局之年擂响战鼓。本报今起推出“开年‘项’前冲”系列报道，展现全市上下“大抓项目、抓大项目”的拼劲干劲，助力高质量发展大步“项”前冲。
■ 记者 杜珊珊
3台桩机轰隆作响，将一根根桩柱打入地基；3台挖掘机来回摆臂挖填，平整出一片场地……位于杭绍临空示范区绍兴片区的兴材光罩基板研发、生产与产业化半导体创新集聚体项目建设现场，眼下已是一片繁忙景象。
“争取春节前完成打桩，7月主体结顶，9月底设备安装、调试，11月开始试生产。”项目筹建该负责人一边盯着施工，一边与同事商议另一项工作——生产设备供应商筛选。
自去年12月底正式动工以来，该项目设备采购、生产线引进等工作便同步启动，多线并行抢时间赶进度，力争10个月后一期投产。
项目“快跑”，为的是早日实现光罩基板国产化。光罩基板也称空白掩膜板，是光刻工艺中用于承载电路图形的基础材料，其核心作用类似于传统照相机的底片，通过光刻过程将设计好的图案精确转印到半导体晶圆或显示器基板上，是实现微电子器件大规模集成的关键母版。兴材半导体科技（绍兴）有限公司将要生产的，正是尚未刻画线路图的光罩基板。目前，高端光罩基板仍高度依赖进口。
一块小小基板，何以成为“卡脖子”环节？“要在纳米级空间内画电路图，基板表面的均匀度和平整度要达到近乎完美的标准。”项目筹建负责人介绍，光罩基板是一种高纯度石英玻璃，表面还需要镀上若干层以铬为主要成分的遮光层，对材料、设备、工艺和车间环境的要求都极为严苛。
此前，“兴材半导体”已组建了一支专家团队，累计获得研发、生产专利82项，储备了多项关键技术。这次开工的项目，总投资20亿元、总用地40亩，建成后将具备年产空白光罩基板6万片的能力。
为推动项目早开工早见效，政府部门派出服务团队，靠前服务。去年12月，项目的土地一挂牌，服务团队便着手制作一张表格，详细列出了项目审批的各个环节，以及每个环节对接的部门、经办人的姓名、联系电话，并把相关材料整理好放在一个个信封中。“服务团队提前预判分析可能出现的问题，能解决的立即解决，不能解决的，立即联系相关部门联席商讨，以免企业来回跑浪费时间。”杭绍临空示范区绍兴片区管委会招商服务局副局长谢国伟说。
“服务热情又高效，我们只需紧跟节奏就行，整个过程非常顺畅。”项目方对政府服务赞不绝口。
据悉，杭绍临空示范区绍兴片区已累计引进兴华芯半导体、芯链半导体、齐力半导体等一批集成电路产业项目。“兴材半导体”的开工建设，为该片区构建从光罩材料、光罩制造到晶圆代工的完整产业链再添重要一环。