■ 记者 范文忠
通讯员 单雯瑶
本报讯 近日，位于杭州湾上虞经开区的浙江晶盛机电股份有限公司传来喜讯，由该企业自主研发的12英寸半导体级单晶炉成功交付全球知名硅片制造商——芬兰Okmetic。“这不仅是一次简单的设备出口，更是‘上虞智造’在国际化战略上迈出的重要一步，这是中国高端半导体装备研发制造能力获国际市场高度认可的有力证明。”杭州湾上虞经开区有关负责人说。
据介绍，芬兰Okmetic作为业界领先的硅片制造商，专注于为MEMS（微机电系统）、传感器、射频滤波器和功率器件领域提供高附加值定制化硅片解决方案，客户覆盖全球领先的半导体企业。此次交付的单晶炉，是晶盛机电在晶体生长领域的核心成果之一，集高精度、高稳定性与高自动化于一身。设备严格遵循国际半导体级工艺标准，并提供更灵活、更简洁以及更隐私的二次开发平台，配合客户实现自主和保密的工艺过程开发及设定，充分满足客户对高品质、低缺陷密度单晶大硅片的严格生产要求。为确保客户无忧使用，晶盛机电还配套提供及时的海外本地化技术服务，助力客户提升生产效率和市场应变能力。
自2007年首台全自动单晶炉问世以来，晶盛机电历经10余年技术攻坚，在半导体高端装备领域已实现长晶、切片、抛光和外延等全系列加工设备的规模化量产，成为全球唯一提供大硅片全产业链设备的企业。如今，其自研设备性能比肩国际一流，并在定制化需求响应与服务敏捷性上更具优势。此次顺利出海，将中国自主研发的高端制造能力与服务理念带入了全球市场。