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2026-04-12
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为微晶玻璃做“CT”

日期:03-03
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  本报讯 (记者 关颖) 日前,摇橹船科技西安研发中心研发的4D光场相机能为微晶玻璃做透视体检,将工业检测从二维平面推向三维空间。   微晶玻璃是光刻机载物台、空间站舷窗的核心材料,需满足微米级精度的考验。“传统的2D检测只能观测到微晶玻璃的平面信息,且仅显示表面划痕。摇橹船科技自研的4D光场相机,打破二维检测技术局限,将工业检测从二维平面推向三维空间,能够为微晶玻璃做‘透视’检测。”摇橹船科技西安研发中心的工作人员介绍,从这款相机拍下的分层渲染图中,微晶玻璃的内部应力裂纹不仅立体呈现,而且清晰可见。   在工作人员的演示下,记者看到一片薄如蝉翼的微晶玻璃经过4D光场相机扫描后,2秒内其表面细微划痕及内部微米级气泡已在电脑屏幕被逐一“标红”。这款相机的“透视”功能是如何实现的?工作人员告诉记者,4D光场相机的核心突破点,在于独特的微透镜阵列设计。研发团队在镜头焦平面处集成了4000多枚微型透镜,每枚透镜仅头发丝直径大小,可同步捕捉光线的强度、方向及传播路径。4D光场相机不仅能识别表面20微米的划痕,还能探测到内部1.8毫米处的夹杂物,检测精度较之前的2D系统提升了40倍。   技术突破背后,是数年磨一剑的持续攻关。据介绍,项目立项时,4D光场技术在工业检测领域尚属空白。摇橹船科技研发团队在西安的光学实验室,累计分析了近1.2万组缺陷样本,直到相机在40℃至零下20℃极端环境中成像稳定性超99.7%。   作为制造业的“外科医生”,4D光场相机可对手机玻璃盖板、飞机挡风玻璃、芯片晶圆进行三维“解剖”。 如今,搭载了摇橹船科技4D光场技术的检测装备已在玻璃检测、半导体领域落地应用。