开发区3家企业产品 入选省首台（套）重大装备

　　近日，省工业和信息化厅公示了2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定名单，开发区3家企业研制生产的装备入选。入选的装备涉及高技术船舶、半导体、生物医药等先进产业集群，分别是江苏新时代造船有限公司的21万吨高效节能双燃料动力散货船、江苏先锋精密科技股份有限公司的芯片先进制程用高均匀性晶圆加热器（10010型）、江苏赛德力制药机械制造有限公司的GKF1250锆材复合离心机。

　　江苏新时代造船有限公司生产的21万吨高效节能双燃料动力散货船，该产品为公布名单内唯一的整船产品，产品按照绿色、节能、环保设计理念和多航线、多种设备配置要求进行系列研发。主机和发电机配备脱硝装置SCR，在气体模式和柴油模式下都可以满足氮氧排放Tier3的要求。在气体模式下和常规船型相比，可减少99%的硫和细颗粒物排放，减少85%的二氧化氮排放和20%的二氧化碳排放。LNG燃料舱舱容达7500立方米，单用LNG续航力达到26500海里，比常规双燃料船的LNG储气罐大19%，扩大了多个航线的巡航要求。

　　江苏先锋精密科技股份有限公司的芯片先进制程用高均匀性晶圆加热器（10010型）是芯片制造PVD、CVD及ETCH等半导体工艺的重要部件，直接与硅片接触，可实现均匀温度分布，起承载吸附晶圆及对硅晶圆均匀加热的作用，使衬底表面上进行高精度的反应并生成薄膜。目前，先锋研发的晶圆加热器已在国际顶尖芯片设备制造公司——中微半导体ICP刻蚀机以及北方华创PVD上完成工艺验证，实现了70%以上的国产化率，并作为独家供应商配套全球首条5nm芯片生产线，运行结果达到世界先进水平，实现国产化替代。

　　江苏赛德力制药机械制造有限公司的GKF1250锆材复合离心机首创锆材在离心机上的运用，具有远程诊断功能的锆材复合离心机成功实现了锆及锆-不锈钢复合板焊接工艺，首创锆-钢复合板焊接结构及应力消除方法，研究出锆-钢脆性金属间化合物的预防机制以及锆-钢过渡层的剥离处理方法，把锆材运用到离心机上。产品能够在各种碱液、100℃以下各种浓度盐酸、75%浓度以下的盐酸、40%浓度以下的磷酸介质长期使用。产品首创自动控制系统和智能化的设备故障诊断和剩余寿命预测功能，实现了信息化和工业化深度融合。

　　近年来，开发区高度重视首台（套）重大装备培育工作，已有10个产品通过了江苏省首台（套）重大装备及关键部件认定。下一步，开发区将持续深入实施“创新驱动”战略，引导企业加大研发投入，鼓励高端装备、关键核心部件企业开展关键核心技术攻关，加快建设自主可控先进制造业体系，全力推动装备制造业高质量发展。（钱莹）