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2026-03-23
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当前报纸名称:宁夏日报

盾源聚芯,但守晶硅待春华

日期:03-23
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走进宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司的生产车间,机械臂精准运转,高纯度石英坩埚在自动化产线上有序流转,检测设备实时监控着每一道工序的微米级精度。

“目前,半导体晶圆客户端需求旺盛,我们的订单持续增长,生产停不下来。”近日,宁夏盾源聚芯厂务总监韩小军说。订单排满,靠的是产品在产线上跑出来的口碑:

——攻克大尺寸高纯长寿命石英坩埚的技术难题,实现8英寸/12英寸半导体硅棒用长寿命高纯石英坩埚国产化替代,打破国外行业巨头技术垄断。

——硅部件高温熔接产品,在1000℃以上不脱落、不释放杂质,通过了多家设备厂商的认证。这个行业痛点被解决后,产品已正式进入国际头部晶圆企业供应链体系。

从“卡脖子”到“宁夏造”

在半导体产业链上游,高纯度石英坩埚与精密硅部件长期被国外行业巨头垄断,是典型的“卡脖子”环节。盾源聚芯的突破,始于对核心技术的长期深耕。

在硅部件材料领域,盾源聚芯打通了上游原材料环节,能够根据终端应用需要定制化研发原材料产品,使得产品稳定供应,质量和交付周期都更有保障。

在精密加工领域,半导体零部件对精度、洁净度、纯度的要求极为严苛。盾源聚芯用10余年时间,掌握了单晶硅棒拉制量产工艺、硅部件精密加工与深孔钻及半导体级硅材料抛光清洗等核心技术。

“攻破核心技术没有捷径,是在反复测试和批量验证中一点一点打磨出来的。”宁夏盾源聚芯相关负责人介绍。

生产极高纯度、高强度的半导体石英坩埚,是一块难啃的“硬骨头”。

石英坩埚作为直接与原材料接触并辅助生产的容器,单晶硅锭的生产对其纯度要求极高,特别是对金属元素含量的要求达到了ppb级(10亿分之一级),微小的杂质污染都可能导致晶棒的重大缺陷。

盾源聚芯的选择是两条路并进:一方面,自主开发高纯半导体石英坩埚制备技术,具备设计、生产多层结构高纯度坩埚的能力;另一方面,与设备厂商联合开发封闭式自动熔融机,并配套投资建设1000级净空房,把生产环境的外部污染控制在最低程度。

这些投入指向同一个目标:攻克大尺寸高纯长寿命石英坩埚的技术难题,实现8英寸/12英寸硅棒用高纯石英坩埚产品的国产化替代,打破国外少数行业巨头的长期垄断。

在高纯硅熔接技术上,盾源聚芯找到了另一个突破口。

半导体设备内的硅部件,长期面临一个共性问题——熔接点在1000℃以上高温环境中容易脱落,或释放杂质污染芯片。众多厂商尝试规避熔接工艺,但复杂结构的硅部件产品仍无法绕开这一核心工序。

宁夏盾源聚芯研发的硅熔接技术,能够有效解决高温环境下熔接点脱落、杂质释放等行业痛点。依托这项技术生产的硅舟等产品,在热处理工艺中展现出优异的性能。由于碳化硅同类产品受工艺路线等因素影响,产能爬坡缓慢,盾源聚芯的硅熔接技术路径反而成了国际晶圆厂商快速扩产期的重要供应保障,也成功切入壁垒森严的半导体核心产业链。

该公司拥有半导体级高纯度单晶硅、多晶硅材料的生产能力,在行业内率先批量拉制500毫米至600毫米大直径、无位错单晶硅材料,是目前国内先进的硅部件材料生产商之一。

“与国际竞争对手相比,盾源聚芯依托国内完整的产业链配套,在原材料、制造、人工等环节形成了综合成本空间,产品性价比更优。”宁夏盾源聚芯相关负责人介绍。

每一项技术突破的背后,都有一份逐年增厚的研发账本。

宁夏盾源聚芯有一条硬性约束:每年研发投入不低于销售收入的4%。

资金之外,还有机制。

盾源聚芯与高校、产业链企业建立常态化合作,聘任科技副总协助推动产学研融合,加速高校实验室成果向产线转化落地。建立研发人员职称评定与职业晋升通道,依托上市平台的优势实施股权激励,把核心人才的利益与企业的长期发展绑在一起。

从“单点突破”到“全链协同”

半导体产业的竞争,本质是产业链的竞争。

盾源聚芯的独特优势,核心在于打通从大直径硅锭到精密硅部件制品的全链条生产体系。“我们能够根据终端应用需要定制化研发原材料产品,在稳定供应、保证质量的同时,提升综合竞争力。”宁夏盾源聚芯相关负责人表示。

2022年,由盾源聚芯牵头的银川市创新联合体项目“集成电路制造半导体硅材料生产关键技术研究及应用”启动,联合区内上下游企业及高校5家单位,围绕柱状多晶硅、半导体硅部件、石英坩埚、半导体级单晶硅、旋转单晶硅靶材坯体五大环节展开产业链协同攻关。

“半导体产业的发展,从来不是‘单打独斗’,要开放供应链、共享技术链,带动上下游企业智能化、绿色化、融合化发展,当好产业升级的主力军。”韩小军介绍,作为我区重点产业链“链主”企业,盾源聚芯正在将技术能力向外辐射,帮助上下游企业提升产品品质,带动产业集群协同发展。

300毫米及以上单晶硅衬底用坩埚,亟需实现国产化替代。公司的研发清单上,这个项目被标为“限时攻克”。

“持续提质现有创新平台,深化自治区半导体石英材料工程技术研究中心的建设,进一步完善研发设施、充实研发团队,新增配备国际先进检测与研发设备,聚焦高纯石英材料、精密硅部件等核心领域关键技术攻关,让平台真正成为技术突破的‘孵化器’。”韩小军介绍。

科技成果转化接续奋进,盾源聚芯将建立“研发—中试—量产”闭环转化机制,依托已建成的中试基地,对高纯石英砂提纯、长寿命坩埚制备、精密硅部件熔接等新技术、新工艺进行规模化中试验证,缩短成果转化周期,确保每一项技术突破都能快速适配生产线、满足市场需求。

智能化、绿色化、融合化,定义着盾源聚芯的发展注脚。