□本报记者 宋雪梅
在珠海高新区珠海诚锋电子科技有限公司的洁净车间里，工程师们正对一台即将发往国内头部晶圆厂的设备进行最后调试。这台看似普通的机器，却是半导体制造良率的“守护神”——它能精准捕捉晶圆上几十纳米的线路缺陷。
“我们凭借纳米级半导体视觉检测核心技术壁垒，正在挑战全球行业巨头。”诚锋科技总经理郑明国的言语中，透着一股向“卡脖子”难题宣战的底气。从2015年扎根珠海，到如今成长为国家级专精特新“小巨人”企业，诚锋科技用十年磨一剑的专注，在半导体光学检测这一“超精密”赛道“加速度”领跑行业发展，成为珠海培育新质生产力的生动注脚。
自主研发 重铸良率生命线
在半导体产业链中，检测设备是良率的生命线。长期以来，以美国KLA（科磊）为代表的巨头垄断了全球高端市场，一台高端掩模版检测设备售价甚至高达数亿元人民币，国内晶圆厂、掩模版厂要采购高端检测设备，不仅要付出高昂代价，还要看人脸色。这是许多中国企业难以承受之重，更是供应链安全的心头之患。
2015年，郑明国创立诚锋科技。面对海外巨头的技术封锁与市场霸权，他决心以自主创新破局，用“中国造”回应垄断，用自主研发重铸良率的生命线。
2002年，大学毕业的郑明国受“海上云天，天下珠海”的感召来到这座城市，从基层技术人员做起，踏实前行，一步步沉淀自己。而珠海，也以其开放与包容的氛围，不断点燃他的创造力与创新热情。
“这个行业人才密度、资本密度都很高。”郑明国坦言。一台设备的研发，涉及光学、算法、精密机械多个领域，投入两三年时间、几千万元资金是常事，而产出回报又要再等两三年。
但认准了的事，他就一头扎进去。
公司成立之初，郑明国定下三条“铁律”：不招任何一个美国KLA的研发人员，不做逆向工程，不搞拿来主义。“只有原创，才能走得更远！”他笃定地说道。
十余年深耕，诚锋科技全栈自研了光学显微成像技术与核心图形检测算法，累计获得60余项国家专利，产品覆盖半导体前道、后道全流程，检测精度与效率达到国际先进水平。
稳步向前 迈向产业链高端
在诚锋科技的产品版图上，三条产品线清晰排列：光通信检测设备、晶圆制造检测设备、掩模版检测设备——从相对“简单”到极其“复杂”，稳步迈向产业链高端。
光通信检测，是公司近5年的重点布局。随着AI算力需求爆发，光通信模块成为数据中心的关键部件。“光路瑕疵只有200纳米，检测难度很高。”郑明国说，诚锋科技在这个领域已经做到国内领先。
晶圆制造检测设备，对标美国KLA和以色列Camtek，是公司的“基本盘”。目前，诚锋科技的晶圆检测设备可检测48纳米制程，正向更高精度推进。
掩模版检测设备，则是公司的“技术制高点”。掩模版是光刻机上的“母版”，其检测难度与光刻机相当。“如果没有检测，晶圆制造良率可能只有50%-60%，有了检测技术可以提高到90%-99%。”郑明国说。
今年10月，诚锋科技将推出一台售价5000万元的掩模版检测设备，对标美国KLA售价2亿元的产品。公司还在预研价值量更高的设备，向全球最尖端技术发起挑战。
“做不到世界第一的产品，我们就不做。”郑明国语气坚定。
政府“扶上马” 企业“跑起来”
诚锋科技的快速成长，不仅源于技术的硬核，更得益于珠海这片产业沃土。
“当初选择珠海，是因为这里‘科技感’强、环境好；现在扎根高新区，是因为这里产业链协同效应强。”郑明国感慨道。珠海高新区不仅聚集了英诺赛科、中英半导体等下游制造企业，还形成了从钣金加工到精密配件的完整供应链。
半导体检测设备是典型的技术密集、资本密集产业，研发投入大、回报周期长。在企业爬坡过坎的关键期，珠海高新区不仅“扶上马”，更“送一程”。
2022年，在企业从理论研发迈向工程样机的关键节点，高新金投果断注资。“政府的1000万元投进来，我们在当年12月就把工程样机落地了。”郑明国回忆道。
更让郑明国感到“解渴”的是，珠海的政府部门为国产设备进入终端客户搭建了桥梁。
“早期晶圆厂不太相信国产设备能替代进口。”郑明国坦言，“政府部门经常倡导终端客户推进国产化，并做了很多对接工作，大大缩短了设备验证周期。”
目前，诚锋科技产品已批量应用于国内头部晶圆厂、掩模版厂及光模块企业，成功替代进口设备。
随着位于长沙、无锡的研发生产基地全面投产，以及海外市场的扩张，诚锋科技发展如今已驶入快车道。
目前，诚锋科技约有200名员工，年产值约2亿元。随着海外基地投产和新产品推出，预计2027年年产值可达6亿元。
而郑明国的雄心远不止于此。他将目光直接对准了行业巨头：“美国KLA年产值超百亿美元，员工上万名，但我们的迭代速度远超他们。这就是我们的底气。站在巨人的肩膀上，我们完全可以用中国的方式、中国式的创新，实现同样的目标。”
从珠海高新区走出的这家“小巨人”企业，正在用自己的方式，为中国半导体产业迈向全球价值链高端贡献一份坚实的力量。