珠海首条MEMS芯片产线在金湾通线

　　云际芯光展厅展品。 本报记者 张洲 摄

　　本报讯 记者甘丰恺报道：1月15日，云际芯光（珠海）微电子有限公司在珠海金湾区举行MEMS芯片生产线通线仪式，标志着珠海市首条MEMS芯片生产线正式投入运营。该产线的建成，不仅是企业自身从芯片设计、制造到封测全链条闭环的关键一步，也为珠海半导体产业生态补上了“制造环节”的重要拼图。

　　云际芯光成立于2023年11月，专注于压电MEMS芯片的研发、设计与制造。公司以SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振、高精度压力传感器为核心产品矩阵，致力于打破国外在高端频率器件、传感器等领域的长期垄断。企业拥有完整的自主知识产权，目前已申报专利30余项，并建成涵盖设计、工艺、封装测试的全流程研发体系。

　　此次通线的6英寸MEMS生产线位于金湾区三灶镇定家湾片区，从建设到贯通仅用时约一年，创下“建设周期最短、通线速度最快”的行业纪录。产线具备光刻、薄膜、刻蚀、键合等全流程工艺能力，可实现SMR滤波器、石英晶振等产品的规模化生产。

　　云际芯光相关负责人表示，选择落户金湾，离不开珠海市、金湾区在集成电路产业领域的布局与政策支持。作为粤港澳大湾区的重要节点，金湾区近年来持续强化半导体产业链建设，但MEMS制造环节仍属空白。云际芯光的投产，不仅为企业自身带来产能支撑，更与本地设计、封装、应用企业形成协同，助力珠海构建更具竞争力的特色工艺半导体产业生态。

　　据介绍，随着生产线正式运行，云际芯光已与多家行业客户达成战略合作，产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子、工业传感等领域。未来，企业将继续深化压电MEMS技术研发，推动更多国产芯片走向市场，为中国半导体产业的自主化与高端化注入“芯”动力。