至微半导体零部件清洗项目落户高新区

　　本报讯 记者宋雪梅报道：2月10日，珠海至微半导体零部件清洗项目动工仪式在珠海高新区智能制造加速基地举行，标志着上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称至纯科技）在华南地区的战略布局迈出重要一步，有助进一步完善珠海集成电路产业链、加快发展产业生态，为华南地区半导体产业集群发展带来新活力。

　　珠海至微半导体科技有限公司是上市公司至纯科技的子公司。作为国内集成电路领域领军企业，至纯科技主要从事半导体制程和厂务设备的研发、生产以及半导体零部件清洗服务，多项技术已达国际先进水平，年营收约40亿元。

　　珠海至微半导体零部件清洗项目去年9月签约落户珠海高新区，由珠海高新区与横琴粤澳深度合作区联动引进。此次动工的厂房总面积4200平方米，配置10级无尘车间，规划建设4条独立制程清洗产线及表面处理产线，预计年清洗产能达36万件。

　　该项目聚焦半导体晶圆厂关键设备的零部件精密清洗与翻修服务，通过延长设备寿命、降低运营成本，助力晶圆厂高效生产。该项目旨在建设规模化的半导体清洗工厂，建成后可形成覆盖珠三角半导体晶圆厂的“2小时配套圈”，为区域半导体产业链提供快速响应服务。

　　2024年，珠海高新区半导体与集成电路产业经济规模实现106亿元，同比增长22%。珠海高新区党工委书记赵适剑表示，珠海至微半导体零部件清洗项目动工，有助进一步完善珠海集成电路产业链、加快发展产业生态，为广东打造中国集成电路产业“第三极”提供支撑。

　　广东省集成电路行业协会会长陈卫表示，珠海高新区地处大湾区黄金内湾核心区域，半导体产业发展氛围浓厚，营商环境优越，政务服务高效。珠海至微半导体零部件清洗项目落地动工，将有力推动珠海高新区半导体与集成电路产业快速发展。