本报讯(记者 宋向华)“自10月28日,化合积电呼和浩特规模化金刚石智造工厂投产以来,近两个月时间,我们已经取得三个方面的突破。”12月26日,化合积电(厦门)半导体科技有限公司董事长兼总经理张星接受记者采访时说:“目前,工厂已实现技术突破、产能提升和海外市场开拓,单晶金刚石加工水平已达到表面粗糙度小于0.5纳米,掺杂技术已实现高低硼浓度可控,同时实现了3寸生产线、6—8寸生产线产能大幅提升,并在海外市场实现量产的导入。”
记者走进位于呼和浩特经济技术开发区未来产业园的化合积电呼和浩特规模化金刚石智造工厂,透过观光玻璃,清晰地看到一台台生产设备正加足马力运转着。在中控室内,工作人员实时监测着设备运行情况。正在车间巡查的运营总监谢泽宇告诉记者,通过技术研发,我们的金刚石硼掺杂工艺在均匀性、导电性等方面实现了优异性能,工厂硼掺杂产品已成功导入生产线,实现了量产。
据了解,化合积电是一家专注于宽禁带半导体材料研发、生产和销售的国家高新技术企业,也是全球知名科技公司贺利氏集团在亚洲地区的首家战略性投资企业。该公司主要生产多晶和大尺寸单晶金刚石(第四代半导体),产品应用于5G 基站、激光器、新能源汽车等领域。作为化合积电子公司,化合积电(呼和浩特)半导体科技有限公司依托本土资源与成本优势,以“大尺寸、低成本、高品质”为核心工艺路线,在呼和浩特经济技术开发区打造了1万平方米的现代化工厂——化合积电呼和浩特规模化金刚石智造工厂。其核心产品覆盖多晶金刚石(晶圆级金刚石、金刚石热沉片、金刚石窗口片、金刚石基复合衬底)、单晶金刚石(热学级、光学级、电子级、硼掺杂)和金刚石复合材料等,广泛应用于激光器、GPU/CPU、医疗器械、5G基站、大功率LED、新能源汽车、新能源光伏、航空航天和国防军工等领域,引领了金刚石及新一代材料革新。
“早在化合积电呼和浩特规模化金刚石智造工厂投产前期,我们主抓招聘、组建团队,现在,团队已全部到位,成为企业有序生产的保障力量。目前,工厂30条生产线已全部投产,实现了金刚石半导体材料量产导入及国产化替代,可以说,工厂在这一领域已取得了里程碑式的突破。”张星说:“金刚石材料具备优异性能,在大功率、高频、高压、高温等方面具有重要应用价值。为更好助力前沿金刚石器件应用与开发,我们将加大研发投入,完善储备各方面技能人才以及高端研发人才,持续稳步提升产能,朝着更高的营收目标迈进。”