记者 黄泽振 文/摄
9月18日，在浙江华川半导体材料有限公司检测车间，一批经过数十道精密工序加工打磨的刻蚀设备专用硅材料，正在接受技术人员的纳米级高精度检测。
据悉，华川半导体专注于大尺寸单晶硅部件精深加工，核心产品涵盖硅环、硅电极等半导体核心耗材，是晶圆制造刻蚀环节不可或缺的关键材料，对刻蚀设备稳定运行起到重要支撑作用。该生产线为我市首条集成电路刻蚀设备专用硅材料生产线，填补了本地集成电路核心耗材领域的产业空白，进一步完善区域半导体产业链配套体系。
