晶盛机电：核心装备入选国家级成就展

　　本报讯 （记者 冯楠） “筑基强国路——中国制造‘十四五’成就展”将于本月底在北京中国国家博物馆落幕。该展览由中国国家博物馆与工业和信息化部新闻宣传中心共同举办。由浙江晶盛机电股份有限公司自主研发的两款核心装备——大尺寸半导体级直拉硅单晶生长设备和12英寸硅片最终抛光设备，作为国内半导体高端装备代表受邀参展，受到业界人士高度关注。

　　据了解，本次展览分为高端制造、产业基础、智能制造、绿色制造、融合发展、美好生活等六个板块，共展出300余件（套）展品，系统呈现了“十四五”期间中国制造的发展历程。晶盛机电的两款展品均为国家级专利密集型产品，分别对应集成电路大硅片制造流程中的长晶与抛光两大核心环节。

　　从行业地位看，晶盛机电已发展成为国内集成电路级8至12英寸大硅片生长及加工设备领域的领先企业。公司聚焦12英寸大硅片核心装备及供应链的产业化，构建了从长晶、切割、研磨、抛光、检测到清洗的重点设备产业链，是国内少数具备大硅片核心装备系统化供应能力的企业之一。

　　在“十四五”规划强调科技自立自强与制造业优化升级的背景下，晶盛机电持续深耕半导体装备、半导体衬底材料、半导体耗材及零部件三大领域。此次两款代表设备入选国家级成就展，亦从侧面印证了上虞企业在国家战略性新兴产业中的技术积累与产业分量。