本报讯 （记者 金伟） 近日，从晶盛机电传来喜讯：由该企业自主研发的12英寸半导体级单晶炉成功交付予全球知名硅片制造商——芬兰Okmetic。这不仅是一次简单的设备出口，更是在国际舞台上展现出的“上虞智造”实力，中国高端半导体装备研发制造能力获国际市场高度认可的有力证明。
Okmetic作为全球领先的硅片制造商，专注于为MEMS、传感器、射频滤波器和功率器件领域提供高附加值定制化硅片解决方案，客户覆盖全球领先半导体企业。此次交付的单晶炉，是晶盛机电在晶体生长领域的核心成果之一，集高精度、高稳定性与高自动化于一身。设备严格遵循国际半导体级工艺标准，并提供更灵活、更简洁、更隐私的二次开发平台，配合客户实现自主和保密的工艺过程开发及设定，充分满足客户对高品质、低缺陷密度单晶大硅片的严苛生产要求。为确保客户无忧使用，晶盛机电还配套提供海外本地化技术服务，助力客户提升生产效率和市场应变能力。
自2007年首台全自动单晶炉问世以来，晶盛机电历经十余年技术攻坚，在半导体高端装备领域已实现长晶、切片、抛光和外延等全系列加工设备的规模化量产，成为全球唯一提供大硅片全产业链设备的企业。如今，其自研设备性能比肩国际一流，在定制化需求响应与服务敏捷性上更具优势。此次顺利出海，将中国自主研发的高端制造能力与服务理念带入了世界市场。
立足新起点，晶盛机电相关负责人表示，将继续秉持“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”的使命，持续加大研发投入，与产业链上下游企业深化协作，为推动半导体产业进步贡献更多力量。