■记者 孙乙丹
“把实验室的‘盆景’变成产业的‘风景’，是科研工作者最欣慰的事。”说起团队研发的电子级二氧化硅纳米磨料和抛光液成功实现产业化，打破国外垄断，中国科学院上海微系统与信息技术研究所二级研究员、浙江新创纳电子科技有限公司集成电路纳米抛光材料创业团队负责人刘卫丽，语气中满是自豪。
这位深耕集成电路材料领域二十余年的科学家，其科研团队的“硬核”成果不仅摘得国家科技进步一等奖、上海市技术发明一等奖等重量级桂冠，更在海宁这片热土上书写了“打破国外垄断，实现国产替代”的创业故事。
攻坚克难 取得重大突破
时间回溯至2002年，中国集成电路产业方兴未艾，但核心材料和工艺装备严重依赖进口，如同被扼住了“咽喉”。其中，化学机械磨料作为芯片制造的关键工序，其核心耗材——高性能电子级纳米磨料和抛光液，长期被国外巨头垄断，成为制约产业发展的“卡脖子”难题。
没有自己的高端抛光材料，中国芯的“平整之路”就永远受制于人。时任信息功能材料国家重点实验室主任的宋志棠研究员敏锐地洞察到这一痛点。“宋老师可以说是我的‘入行’前辈，将我拉到了这条充满挑战的赛道。”带着这份紧迫感，宋志棠和刘卫丽带领团队毅然将研究方向拓展至化学机械抛光领域。
前方没有引路人，这注定是一条充满荆棘的路。电子级纳米磨料要求极高的纯度、均匀性和稳定性，技术壁垒森严。团队从基础研究做起，夜以继日地攻坚克难。“无数次失败，无数次重来，但目标从未动摇——做出中国人自己的、世界一流的抛光材料。”团队成员常常互相鼓劲。
“抛光液这个领域，直到今天，仍旧是摸索的成分更大一些。说到底，还是得靠团队一次次实验，不断地琢磨。”在浙江新创纳电子科技有限公司的办公室，刘卫丽回忆起在浙江大学“入门”材料学，再到与前辈宋志棠共同投身国产抛光液研发过程中的点滴，感慨着一路走来的不易：“可真是把大家的‘毕生所学’全用上了。”
历经多年潜心钻研，团队终于在电子级二氧化硅纳米磨料的制备技术上取得重大突破。自主研发的产品性能达到国际先进水平，一举解决了国内集成电路化学机械磨料“有无”的问题。这项成果，如同在封锁线上撕开了一道口子。
安家海宁 推进产业化
“我们的产品，就是芯片制造的‘牙膏’和‘砂纸’，必须做到极致均匀、纯净和稳定。”刘卫丽拿起样品解释道。
核心技术突破只是第一步，如何将实验室的成果转化为稳定可靠、批量供应的产品，实现大规模进口替代，是摆在团队成员面前的一项现实且严峻的挑战。“在产业化放大过程中会遇到很多问题，细微的参数变化，出来的产品也会不一样。”刘卫丽深知，产业化需要资金、场地、产业链配套和高效的成果转化机制。
2013年，经研究院同事介绍，刘卫丽和宋志棠与斜桥镇招商团队结识。“当时我们很明确要扩产，斜桥的招商团队也很务实、高效。”政府有意向，企业有需求，双方一拍即合。很快，浙江新创纳电子科技有限公司在斜桥镇安家落户。
在海宁这片热土上，团队的研发正式扬帆起航。建立高标准生产线，团队成员分工协作，不断精进技术研发，提升产品良率和稳定性，依托当地提供的平台和资源，全力推进电子级纳米磨料和抛光液的产业化进程。
通过考验 国产替代进口
“抛光液对于芯片来说十分关键，大家对产品的质量和稳定性要求都很高，需要成功案例来‘打开市场’，没人愿意冒着风险去当小白鼠。”刘卫丽回忆道。
2020年，事情出现了转机。受国际政策影响，国内市场逐渐打开，新创纳生产的国产抛光液开始打入国内主流芯片制造企业的供应链。
走进新创纳位于海宁的生产基地，现代化的车间里，精密设备有序运转。这里诞生的每一颗纳米粒子，都凝聚着新创纳团队的心血，也承载着“国货崛起”的希望。
“抛得快、抛得好，产品一下子就推广开了。”刘卫丽告诉记者，在实际应用中，产品承受住了市场和客户的严苛考验，在关键性能参数上与进口抛光液并驾齐驱。自此，企业生产的国产抛光液成功代替了大规模进口产品，成为众多行业企业的“首选”。
截至目前，在刘卫丽和宋志棠带领下，新创纳团队已申请发明专利一百余项，授权七十余项。不仅产品解决了国家和行业的“燃眉之急”，其创业计划还荣获海宁市第二届“潮起东方·赢在海宁”创业大赛一等奖，其技术成果更是获得了上海市技术发明一等奖和中国科协青年杰出科技成果转化奖。
刘卫丽表示，海宁浓厚的创新氛围和不断完善的半导体产业链生态，为企业的持续发展注入了强劲动力。接下来，新创纳将不断精进产品、推出新品，大步走向更广阔的天地。
刘卫丽。