芜湖主导制定的全国首个电子级乙硅烷行业标准 本月起实施

本报讯 记者昨日从芜湖市市场监管局获悉，由芜湖主导制定的电子行业标准《电子级乙硅烷》（SJ/T 12052-2025）于2026年7月1日起正式实施。该标准由安徽亚格盛电子新材料有限公司、芜湖市标准化研究院等单位联合编制，是芜湖立足新一代信息技术产业赛道，以标准化助力半导体产业链自主可控的标志性成果。

电子级乙硅烷是先进集成电路制造中不可或缺的核心电子特气，属于半导体产业链“卡脖子”关键配套材料，广泛应用于薄膜沉积、硅外延生长等核心工艺。《电子级乙硅烷》行业标准规定了电子级乙硅烷的技术要求、试验方法、检测规则、标志、包装、贮存等要求，适用于用硅化镁法(小松法)、硅直接合成法制备的电子级乙硅烷。该标准的实施填补了我国电子级乙硅烷领域行业标准的空白，统一了产品质量管控与评价口径，有效破解了行业无标可依、质量参差不齐、国产化推广受阻等痛点。

记者 芮娟